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Date Posted: 02:27:43 02/15/10 Mon
Author: tony
Subject: Dünnschichttransistor
In reply to: tony 's message, "Metal Foam - Metallschaum" on 02:47:14 03/28/09 Sat

Dünnschichttransistor
aus Wikipedia, der freien Enzyklopädie
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Ein Dünnschichttransistor (englisch: thin-film transistor, kurz TFT) ist ein spezieller Feldeffekttransistor mit isoliertem Gate, mit dem großflächige elektronische Schaltungen hergestellt werden können.
Aufbau [Bearbeiten]
Schema eines Dünnschichttransitors in der Aufbauvariante „staggered bottom-gate“ (gestapelt mit untenliegendem Gate)
Grundlegende Aufbauvarianten von Dünnschichttransitoren

Der Aufbau eines Dünnschichttransistors entspricht dem Schema des bekannten Metall-Oxid-Halbleiter-Feldeffekttransistors (MOSFET). Die wesentlichen Unterschiede bestehen – neben den typischerweise verwendeten Materialien – in der nachträglich aufgebrachten Halbleiterschicht und dem häufig großflächig gestalteten Gate, das heißt Source bzw. Drain und das Gate liegen häufig übereinander.

Hinsichtlich des Aufbaus lassen sich Dünnschichttransistoren zum einen in „bottom-gate“ (dt. untenliegendes Gate, auch top-contact, dt. obenliegende Source/Drain-Kontakte genannt) und „top-gate“ (dt. obenliegendes Gate, auch botom-contact, dt. untenliegende Source/Drain-Kontakte genannt), zum anderen in „staggered (dt. gestapelt) und „coplanar“ (dt. in der gleichen Ebene liegend) unterschieden. Es gibt damit vier Grundvarianten im Schichtaufbau. Bei der abgebildeten Variante handelt es sich um einen „staggered bottom-gate TFT“ also einen „gestapelten Dünschichttransistor mit untenliegendem Gate“. Hierbei ist das zuerst abgeschiedene Gate (bottom-gate) und die Source/Drain-Kontakte durch einen Schichtstapel aus Dielektrikum und Halbleiter getrennt (staggered). In der entgegengesetzten Variante dem „coplanar top-gate TFT“, wäre das Gate zu letzt (nach dem Source/Drain-Kontakt, dem Halbleiter und dem Dielektrikum) abgeschieden worden und das Halbleitermaterial würde sich nur zwischen dem Source- und dem Drain-Kontakt befinden, das heißt die Kontakte berühren direkt das Dielektrikum.[1]

Als aktiver Halbleiter kommt dabei meistens hydrogenisiertes amorphes Silizium (α-Si:H) zum Einsatz, das z. B. mittels eines Excimerlasers in polykristallines Silizium umgewandelt werden kann. Weiters werden Verbindungshalbleiter wie Cadmiumselenid (CdSe) und transparente Metalloxide wie Zinkoxid eingesetzt.[2][3] Andere Materialien, wie sie zum Beispiel bei organische Feldeffekttransistoren eingesetzt werden, sind Gegenstand aktueller Forschung.
Anwendung [Bearbeiten]
Schnitt durch ein TFT-Display. Die Dünnschichttransistoren sind im unterem Bereich mit (9) bezeichnet.

Eine weit verbreitete Anwendung ist die Orientierung von Flüssigkristall-Flachbildschirmen, bei denen pro Bildschirmpunkt drei Transistoren zum Einsatz kommen. Diese Bauart von Displays ist als Matrix-LCD bekannt, wird aber umgangssprachlich häufig auch als TFT-Display bezeichnet. In PDAs werden häufig transreflexive, TFT-basierte LCDs verwendet, die auch im Freien genutzt werden können.
Einzelnachweise [Bearbeiten]

1. ↑ Patrick Görrn: Transparente Elektronik für Aktiv-Matrix-Displays.. Cuvillier Verlag, 2008, ISBN 978-3867277587, S. 154 (Auszug in der Google Buchsuche).
2. ↑ T. Peter Brody: The Thin Film Transistor - A Late Flowering Bloom. In: IEEE Transactions on Electron Devices. 31, Nr. 11, 1984, S. 1614–1628, (doi:10.1109/T-ED.1984.21762).
3. ↑ David Stauth: OSU Engineers Create World's First Transparent Transistor. College of Engineering, Oregon State University: OSU News & Communication, 24. März 2003, abgerufen am 15. August 2009.
http://de.wikipedia.org/wiki/D%C3%BCnnschichttransistor

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Replies:

  • computer spracheingabe -- tony, 23:16:54 02/22/10 Mon

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